10月16日，2024集成电路关键材料产业合作大会在德州天衢新区召开，这已是天衢新区第三年承办国家级产业盛会。经济导报记者了解到，自2013年至今共11年间，德州天衢新区的新一代信息产业从无到有、从有到优、从优到精，产值增速创造“70倍奇迹”。

近年来，山东坚持把新一代信息技术产业作为“十强”产业之首，高位推动信息技术产业实现快速高效发展，以德州等城市为原点，山东在新一代信息技术全国产业版图中获得一席之地。

龙头企业引领原创产品和技术

山东有研艾斯半导体材料有限公司（下称“有研艾斯”）位于德州天衢新区布局的集成电路关键材料基地内。在这里，一根根单晶硅棒被切割成1毫米厚的硅片，经过倒角、研磨、抛光等40余道工序后，就形成了出厂成品，待统一检查包装后发往全国各地。据悉，有研艾斯此前攻克了单晶微缺陷、硅片平整度、表面玷污等关键技术难题，成为当前省内唯一能生产12英寸大硅片的企业。

有研艾斯相关人士介绍，“硅片直径越大，对材料和技术的要求就越高，制造难度也越大，生产过程涉及亚微米甚至纳米级别的结构，工艺稳定性、产品质量参数一致性、单台设备产能和产品单位成本持续降低控制等都是需要考虑的因素。”

据了解，12英寸硅片技术参数要求较高，各工艺环节需要长期积累，其中单晶工艺是最为核心的技术，其决定了硅片尺寸、电阻率、纯度、氧含量、位错、晶体缺陷。随着集成电路制程和工艺的发展，硅片趋向大尺寸化和制程精细化，12英寸硅片为当前及未来较长时间内的主流产品。

山东有研半导体材料有限公司、有研艾斯、有研亿金新材料（山东）有限公司……德州是中国有研科技集团有限公司（下称“有研集团”）在全国投资布局规模最大、业务领域最广的科技成果转化基地。据了解，目前，有研集团已投资近百亿元，共布局了7个产业链项目，德州天衢新区涵盖主要6个项目，可年产各类硅片900余万片、靶材4.3万块、12至18英寸硅单晶400余吨。

产业规模增长约70倍

据介绍，自2013年威讯联合半导体（德州）有限公司落户开始，德州半导体产业强力起势，逐步形成单晶硅材料、芯片设计、封装测试、设备材料、终端应用的半导体产业链。

2018年，德州与有研集团“牵手”，合作建设集成电路关键材料基地，规划面积近千亩，德州天衢新区由半导体产业向集成电路产业延伸拓展，发展驶入快车道。此后，有研系的12英寸硅片、高纯溅射靶材、刻蚀设备用硅材料及硅片扩产等六大项目相继落地，总投资近百亿元。全部达产后，8英寸硅片将占国内市场份额10%、12英寸硅片占国内市场份额20%，高端靶材占全球市场份额20%以上。“将这些高端项目集聚在一个基地，放眼全国也不多。”德州天衢新区党工委委员、管委会副主任李涛表示。

今年，总投资50亿元的激光雷达及传感器件产业化项目落户德州天衢新区并开工建设。作为第二代半导体领域的链主，该项目具备垂直一体化生产能力，可为多家企业提供配套服务。至此，德州天衢新区形成了从衬底外延、芯片制造、封装测试、器件模组到终端应用的完善产业生态，凭借长且丰富的产业链，进军为新一代信息技术产业的一名“优等生”。

项目招来了，还更要留得住、发展好。德州天衢新区超前实施产业布局，规划打造“两区+四园”。其中，“两区”指3000亩的集成电路和电子信息产业，“四园”即76万平方米的电子信息产业园、手机制造产业园、智能终端产业园、京津冀创新转化中心。德州市有90%的新一代信息技术规上企业在此集聚，实现了“引来一家企业、带来一片产业、兴起一个园区、激活一座城市”的规模效应。

据介绍，目前，德州天衢新区新一代信息技术产业发展势头向上向好、效益明显提升，产业规模由2013年的1.27亿元增至2024年的90.6亿元，11年间增长了约70倍。

（大众新闻·经济导报记者 于婉凝 谢卫振）