证监会网上办事服务平台显示，青岛思锐智能科技股份有限公司（下称“思锐智能”）2月19日在青岛证监局进行了IPO辅导备案，正式开启A股上市进程。

经济导报记者了解到，思锐智能主要聚焦关键半导体前道工艺设备的研发、生产和销售，2024年完成全国首台高能离子注入机国内主流验证，月处理产能大概10万片，是2024年中国隐形独角兽500强企业。股东情况显示，中车青岛四方车辆研究所有限公司（下称“中车四方所”）为其第一大股东，持股比例为19.48%。

高能离子注入机取得突破

备案报告显示，思锐智能成立于2018年1月，注册资本112128.605万元，位于中国（山东）自由贸易试验区青岛片区牧马山路11号，法定代表人为聂翔。

2025年2月12日，思锐智能与国泰君安证券签署了IPO辅导协议，辅导工作时间安排从2025年2月至2026年4月，内容包括尽职调查、整改规范、授课培训、编写发行上市申报文件等。

官网信息显示，思锐智能总部位于青岛，并在北京、上海设有研发中心，该公司产品包括原子层沉积（ALD）设备及离子注入（IMP）设备，广泛应用于集成电路、第三代半导体、新能源、光学、零部件镀膜等诸多高精尖领域。

据了解，思锐智能于2018年完成对ALD技术发源地——芬兰倍耐克公司100%股权的收购工作，随后通过整合倍耐克海外前沿技术研发资源，开展ALD技术国内外联合研发与国内产业化落地工作。目前思锐智能及其子公司拥有300余项相关专利，建立了完善的ALD产品体系，覆盖全球众多头部客户并在众多细分领域取得领先的市场竞争地位。

在推进ALD业务转型升级后，思锐智能积极布局离子注入设备业务，2023年9月，思锐智能研发的国内首台能量达到8MeV（兆电子伏特）的高能离子注入机交付到国内头部企业，开启了国产高能离子注入机的自主可控的新征程。而在解决国内高端离子注入机存在的瓶颈问题后，思锐智能也在逐步完成硅基及化合物半导体领域全系列机型的布局。

据介绍，依靠强大的研发能力，思锐智能先后获评国家级专精特新“小巨人”企业、国家高新技术企业、山东省瞪羚企业、2024年中国隐形独角兽500强等荣誉；2024年，思锐智能还成功备案设立国家级博士后科研工作站，成为青岛自贸片区首家国家级博士后科研工作站。

经济导报记者了解到，依托半导体先进装备研发制造中心，思锐智能已成为拥有全球客户拓展能力的中高端半导体装备生产制造商，业务范围覆盖全球40个国家及地区，累计超过500个全球客户。

获得诸多资金青睐

半导体制造设备是半导体产业发展的基石，据SEMI的统计数据，2024年上半年，中国半导体设备销售额近230亿美元，占全球的43%，是全球最活跃的半导体设备市场之一。作为芯片制造的四大核心工艺装备之一，离子注入机进口数量在2024年上半年激增，显示该部分市场空间巨大的同时，也预示着离子注入机的国产化进程依然任重而道远。

在第十二届半导体设备材料与核心部件展示会（CSEAC 2024）上，思锐智能董事长聂翔介绍了其高能离子注入机的最新进展，在2023年迁入到客户端并开始工艺验证后，2024年上半年该公司高能离子注入机已顺利转入量产阶段，关键技术指标全面得到验证，设备的置换率也达到了令人满意的水平。此外，SRII高能离子注入机还为逻辑、存储和功率器件客户完成了大量测试，均能满足不同应用的需求，有望在更多领域的客户端进行应用。

经济导报记者注意到，思锐智能的良好发展前景使其获得诸多资本的青睐，其股东名单不断扩容。

2024年2月，思锐智能宣布完成数亿元的B轮融资。该轮融资由上汽集团战略直投、尚颀资本和鼎晖投资联合领投；招商局创投、上海金浦、新鼎资本、创新工场、华控基金、青创投等知名投资者跟投；海松资本、海澳芯科、鑫芯创投、珩创投资、同歌创投等老股东持续加持。

其后，思锐智能又完成了B+轮融资，该轮融资吸引了青松资本、中金资本、中车四方所、中车资本、石溪资本以及千帆资本等多家知名机构的积极参与。

企查查信息显示，思锐智能目前共有50位股东，中车四方所持股比例为19.48%，中车资本旗下的华舆国华（青岛）股权投资合伙企业（有限合伙）持股18.46%，其余股东持股比例均在10%以下。据悉，中车四方所由中国中车股份有限公司100%持股，而后者隶属于央企中国中车集团。

（大众新闻·经济导报记者 段海涛）